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            立式化學氣相沉積爐
            立式化學氣相沉積爐

            參考價格

            100-150萬元

            型號

            VCVD

            品牌

            頂立科技

            產(chǎn)地

            湖南

            樣本

            暫無
            湖南頂立科技股份有限公司

            金牌會員

            |

            第12年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實

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            核心參數(shù)
            • 非金屬電熱元件:

              其他
            • 金屬電熱元件:

              鎳銅絲
            • 燒結(jié)氣氛:

              真空
            • 溫控精度:

              ±5
            • 最高溫度:

              1500
            • 額定溫度:

              1500
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             立式化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理。


            技術(shù)特征

            ☆ 采用多溫區(qū)獨立控溫,溫度均勻性好;

            ☆ 采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
            ☆ 采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
            ☆ 對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。


            產(chǎn)品規(guī)格

            參數(shù)\型號VCVD-0305-CVCVD-0608-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1320-CVCVD-1520-C
            工作區(qū)尺寸D×H(mm)Φ300×500Φ600×800Φ800×1200Φ1100×2000Φ1300×2000Φ1500×2000
            **溫度(℃)150015001500150015001500
            溫度均勻性(℃)±5/±10±7.5/±10±7.5/±15±10/±15±10/±15±10/±20
            極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
            壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
            加熱方式電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應


            參數(shù)\型號VCVD-1822-CVCVD-2032-CVCVD-2632-CVCVD-3338-CVCVD-3344-C
            工作區(qū)尺寸D×H(mm)Φ1800×2200Φ2000×3200Φ2600×3200Φ3300×3800Φ3300×4400
            **溫度(℃)15001500150015001500
            溫度均勻性(℃)±15±15±15±20±20
            極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
            壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
            加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻

            以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。



            配置選擇

            ☆ 爐門:絲桿升降/液壓升降/手動升降;旋轉(zhuǎn)移開/平行移開(大尺寸爐門);手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊 

            ☆ 爐殼:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
            ☆ 爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復合氈/CFC
            ☆ 加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
            ☆ 工藝氣路系統(tǒng):體積/質(zhì)量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產(chǎn)
            ☆ 熱電偶:K分度號/N分度號/C分度號/S分度號

             


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            10分

            售后服務(wù)

            10分

            易用性

            10分

            性價比

            10分
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