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            1200℃雙管滑動式單溫區(qū)/多溫區(qū)CVD系統(tǒng)
            1200℃雙管滑動式單溫區(qū)/多溫區(qū)CVD系統(tǒng)

            參考價格

            20-30萬元

            型號

            1200℃雙管滑動式單溫區(qū)/多溫區(qū)CVD系統(tǒng)

            品牌

            中環(huán)

            產地

            天津

            樣本

            暫無
            天津中環(huán)電爐股份有限公司

            金牌會員

            |

            第12年

            |

            生產商

            工商已核實

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            產品用途:

            此款CVD系統(tǒng)是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔

            電極方面的研究,通過滑動爐實現快速加熱和冷卻。

             

            產品組成:

            CVD系統(tǒng)配置:

            1.1200度開啟式真空管式爐(可選配單溫區(qū)及雙溫區(qū))。

            2.滑動系統(tǒng)分為手動、電動滑動,并配有風冷系統(tǒng)。

            3.內外雙石英管,采用真空可通氣氛雙法蘭特殊連接。

            4.多路氣體流量控制系統(tǒng)(質子流量控制器和浮子流量控制器)

            5.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)     

             

            產品特點:

            產品獨特性

            1 控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。

            2 氣路快速連接法蘭結構采用本公司獨有的知識產權**設計,提高操作便捷性。

            3 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強,耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統(tǒng)使用壽命。

            4 (電動)滑動系統(tǒng)采用溫度控制器自動控制爐體移動,等程序完成,爐體按設定的速度滑動,因有滑動限位功能,爐體不會發(fā)生碰撞,待樣品露出爐體后,通過風冷系統(tǒng)快速降溫。

            5 雙管真空密封法蘭,反應氣體可以在內外管之間發(fā)生反應,冷卻氣體可通過內管,從而使內管外壁溫度降低。

            系統(tǒng)名稱

            1200℃雙管滑動式單/多溫區(qū)CVD系統(tǒng)

            系統(tǒng)型號

            CVD-12II6SH-3Z/G

            CVD-12III9SH-3Z/G

            **溫度

            1200℃

            加熱區(qū)長度

            610mm

            940mm

            恒溫區(qū)長度

            400mm

            700mm

            溫區(qū)

            雙溫區(qū)

            三溫區(qū)

            石英管管徑

            內管:Φ80mm   外管:Φ100mm

            額定功率

            4.8Kw

            7.2Kw

            額定電壓

            220V

            380V(三相)

            滑動距離

            485mm

            650mm

            滑動方式

            手動滑動/自動滑動(由溫度控制器自動控制移動,當程序完成,爐子按設定的速度滑動)

            溫度控制

            國產程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫;

            控制精度

            ±1℃

            爐管**工作溫度

            <1200℃

            雙管法蘭連接

            采用雙法蘭雙卡箍連接可擴展多功能,并且分別獨立對內管和外管進行真空和氣體流量控制.密封法蘭與管件連接的地方采用多環(huán)密封技術,在密封法蘭與管外壁間形成了密封,在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效,該密封法蘭的安裝只需在**次使用設備的時候安裝

            氣體控制方式

            質量流量計

            氣路數量

            3路(可根據具體需要選配氣路數量)

            流量范圍

            0-500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標定

            精度

            ±1%F.S

            響應時間

            ≤4sec

            工作溫度

            5-45℃

            工作壓力

            進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

            系統(tǒng)連接方式

            采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數顯真空測量儀

            規(guī)格

            高真空

            系統(tǒng)真空范圍

            1x10-3Pa-1x10-1Pa

            真空泵

            真空分子泵理論極限真空度
            5x10-6Pa抽氣速率1600L/S
            額定電壓220V 功率2Kw

            爐體外形尺寸

            480×770×605mm

            410×1100×605mm

            系統(tǒng)外形尺寸

            530×1440×750mm(不含高真空)

            系統(tǒng)總重量

            340Kg

             

               

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            產品質量

            10分

            售后服務

            10分

            易用性

            10分

            性價比

            10分
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