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CXF-250/2301磁懸浮分子泵
性能特點(diǎn)/ Features
●高潔凈度、免維護(hù)、低振動(dòng)、任意角度安裝、更高的前級(jí)耐壓、集成控制器
●五軸磁懸浮軸承、轉(zhuǎn)速可調(diào)、轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)監(jiān)控和自動(dòng)平衡、斷電自動(dòng)保護(hù)、溫度管理系統(tǒng)
●防腐、低噪聲、節(jié)能、體積更小重量更輕
應(yīng)用領(lǐng)域/ Application
硅刻蝕，離子注入，玻璃鍍膜，PVD鍍膜，科研應(yīng)用，表面分析，加速器，太陽(yáng)能，熱處理。
高潔凈度、免維護(hù)、低振動(dòng)、任意角度安裝、更高的前級(jí)耐壓、集成控制器
●五軸磁懸浮軸承、轉(zhuǎn)速可調(diào)、轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)監(jiān)控和自動(dòng)平衡、斷電自動(dòng)保護(hù)、溫度管理系統(tǒng)
●防腐、低噪聲、節(jié)能、體積更小重量更輕
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