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Hiden IG5C 銫離子槍（Ion Gun），先進的離子槍，配合SIMS進行材料表面和深度的分析。具備低功耗、高亮度表面電離離子源，并耦合到一個緊湊的高性能組合中。
·穩(wěn)定的離子源
·精巧便于安裝的法蘭部件
·離子源：易于安裝、能自我校準(zhǔn)
·離子源壽命長
·不同的泵強有力地保證了超高真空的腔室壓力·雙燈絲容量設(shè)計
·在光柵應(yīng)用中，束消隱裝置可以快速進行束的轉(zhuǎn)換
·能量范圍： 500eV ~ 5KeV
·**電流： 200nA
·*小光斑尺寸： 20μm
·離子源壽命：一般在500小時
·法蘭規(guī)格：斜楔法蘭DN-35-CF
·功率： 8 W
IG5C Caesium Ion Gun (840 KB)
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