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KLA 探針式表面輪廓儀（臺階儀） P-17

P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

產(chǎn)品描述

P-17是第八代臺式探針輪廓儀（臺階儀），是40多年的表面量測經(jīng)驗的結(jié)晶。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite^®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能，程序設(shè)置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。

主要功能

· 臺階高度：幾納米至1000μm

· 微力恒力控制：0.03至50mg

· 樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

· 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)

· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

· 軟件：簡單易用的軟件界面

· 生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化

主要應(yīng)用

· 臺階高度：2D和3D臺階高度

· 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

· 形狀：2D和3D翹曲和形狀

· 應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

· 缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應(yīng)用

· 大學(xué)、研究實驗室和研究所

· 半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

· LED：發(fā)光二極管

· 太陽能

· MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

· 數(shù)據(jù)存儲

· 汽車

· 醫(yī)療設(shè)備

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