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INFICON 生產(chǎn)的Bayard-Alpert 皮拉尼復(fù)合真空計(jì)， BPG402-S，兩

種真空計(jì)集成在一個(gè)小型的單元內(nèi)，測(cè)量范圍從5x10-10 毫巴至大

氣壓(3.8x10-10 乇至大氣壓). 復(fù)合的技術(shù)降低了安裝，設(shè)置和集成

的復(fù)雜性.在一個(gè)小型外殼內(nèi)裝有雙敷涂釔的氧化銥燈絲的

BPG402-S 用于頻繁與重復(fù)的工藝過程中測(cè)量基本壓強(qiáng). 帶有在

機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的敏感元件保證更換傳感器的高度再現(xiàn)性.

優(yōu)點(diǎn)

極寬的測(cè)量范圍從 5x10-10 毫巴至大氣壓(3.8x10-10 乇至大氣壓)

極好的重復(fù)性，過程壓強(qiáng)范圍10-8 … 10-2 毫巴均為5%

皮拉尼連鎖保護(hù)燈絲，防止過早燒毀

雙敷涂釔的氧化銥長(zhǎng)壽命燈絲

可選圖形顯示和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)

容易更換具有在機(jī)校準(zhǔn)的傳感元件，保證高度重復(fù)性

應(yīng) 用

半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強(qiáng)測(cè)量

工業(yè)鍍膜

一般真空測(cè)量和控制，從低至超高真空范圍