溫控精度：
-最高溫度：
-額定溫度：
-非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
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技術指標
●適用晶片尺寸 ： 2~8英寸圓片
●工作溫度： 600℃～1300℃；
●可配工藝管數量：1~2管/臺
●恒溫區(qū)長度及精度：≤±0.5℃/300~600mm （800℃～1300℃），
● 單點溫度穩(wěn)定性：≤±0.5℃℃ /24h （1100℃）；
●溫度斜變能力：**升溫速率20℃/min，**降溫速率5℃/min；
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