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            連續(xù)送料出料回轉PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-R-PECVD-AD2
            連續(xù)送料出料回轉PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-R-PECVD-AD2

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            型號

            BTF-1200C-R-PECVD-AD2

            品牌

            貝意克

            產(chǎn)地

            安徽合肥

            樣本

            暫無
            安徽貝意克設備技術有限公司

            金牌會員

            |

            第13年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實

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            核心參數(shù)
            • 溫控精度:

              ±1℃
            • 最高溫度:

              1200℃
            • 額定溫度:

              ≤1000℃
            • 非金屬電熱元件:

              其他
            • 金屬電熱元件:

              鐵鉻鋁絲
            • 燒結氣氛:

              其他
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            一、設備組成

            設備組成部分包含:1)加熱系統(tǒng)2)Plasma系統(tǒng)3)爐管轉動系統(tǒng)4)爐管傾斜系統(tǒng)5)觸屏操作系統(tǒng)6)進出料組件7)進出氣法蘭組件8)爐管及安全保護組件 9)真空系統(tǒng)。10)場內(nèi)小電流裝置


            二、結構描述

            1、加熱系統(tǒng):

            該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,該系統(tǒng)設置有超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。溫區(qū)為單溫區(qū),溫區(qū)長440mm,異形石英管規(guī)格采用Φ60*Φ100*1200。

            2、Plasma系統(tǒng):

            本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過反應氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式。

            3、爐管轉動系統(tǒng):

            爐管轉動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉動,轉速在0-20rpm連續(xù)可調(diào)。

            4、攪拌轉動系統(tǒng)可以實現(xiàn)360°勻速轉動,轉速在0-30rpm連續(xù)可調(diào)。

            5、爐管傾斜系統(tǒng)可以大角度傾斜,方便進出料,傾斜角度在0-30°之間。

            6、觸屏操作系統(tǒng):該系統(tǒng)可以讓設備在自動模式下高度自動化運行,所有參數(shù)程序設定好后自動運行:可實現(xiàn)按照設定程序連續(xù)工作,可設置多工作段不同參數(shù),并可進行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作。

            7、進出料組件:進料端由進料罐+送料機構組成,出料端由收集罐+手動輔助升降組件組成

            8、進出氣法蘭組件:設備法蘭左端為進氣端,一側配有截止閥控制的進氣口,對接混氣罐輸出的氣體。另一側預留KF25接口。右端為出氣端,一側由球閥控制的出氣口,另一側為KF25抽口。

            9、爐管及安全保護組件:爐管為異形石英管,通過左右兩端磁流體密封法蘭實現(xiàn)真空下的回轉,設備左端法蘭配有SMC安全保護組件。

            10、真空系統(tǒng):由一個PCG550真空計和一臺DRV16機械泵組成,抽口端由KF25手動擋板閥控制。

            11、場內(nèi)小電流裝置:設備左端為正極:由不銹鋼桿和導電片組成;右端為負極,由不銹鋼導電片固定在送料桿端頭。正極配有外端接線棒。

             

            本設備采用承重框架結合鈑金包圍形式。機架采用深灰色、門板等采用時尚橘紋白。設備簡約又不乏穩(wěn)重,更具備操作直觀方便、控溫精確等性能。


            三、技術參數(shù)

            額定功率

            4KW

            額定電壓

            AC220V

            **溫度

            1200℃

            使用溫度

            950-1000℃

            爐管尺寸

            異型管Φ60x100x1200mm

            爐管旋轉速率

            0~20rpm

            攪拌旋轉速率

            0~30rpm

            爐體傾斜角度

            0~35°(可調(diào))

            熱電偶類型

            K型熱電偶

            控溫精度

            ±1℃

            控溫方式

            模糊PID控制和自動整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

            射頻功率范圍

            0-500W

            加熱長度

            440mm

            恒溫長度

            200mm

            加熱元件

            電阻絲

            升溫速率

            0-20℃/min,建議10℃/min


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