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經(jīng)過單、雙面精密研磨和拋光后可輕易使工件達(dá)到平坦度0.3 um,平行度1 um,厚度差1 um,面粗度0.01um以下的精密程度，可滿足半導(dǎo)體芯片制造、高精密陶瓷零部件、精密光學(xué)零部件以及精密機(jī)械配件的生產(chǎn)加工需要。
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