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產(chǎn)品介紹

MGDS氣體輸送系統(tǒng)為一體化氣體分配系統(tǒng)技術提供了一種方法，利用平面密封技術，在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng)。每個表面安裝組件遵循 SEMI 標準，可根據(jù)需求形成不同的配置形式。維護時，僅需在面板上方進行操作，簡單方便。

MGDS 系列配套專用的減壓器、隔膜閥、單項閥、底座及零部件。

主要部件材料

MGDS底座系列                      316L /316L（VIM+VAR）
MHD系列                               316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy
MPD系列                                316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy

MCV系列                                316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy+FFKM

工作條件

工作壓力                0 ～ 150psi
外漏率                      ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

工作溫度                -10 ～ 60℃

內(nèi)表面粗糙度          Ra ≤ 0.13μm

產(chǎn)品特點

利用平面密封技術，在更緊湊的氣體面板上構(gòu)建氣體輸送系統(tǒng)