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Mars 4410/Mars 4420品牌
中電科風華產(chǎn)地
山西樣本
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產(chǎn)品描述：應用于化合物半導體襯底片、外延片的全自動缺陷檢測，并可兼容藍寶石、LED的缺陷檢測。設(shè)備采用明場微分干涉相差、暗場散射、光致發(fā)光等多種檢測手段。具有多通道同步單次檢測，低噪聲和高分辨率成像、高檢測通量和高檢出率等優(yōu)勢。
產(chǎn)品參數(shù)：
應用范圍：SiC、GaN等化合物半導體晶圓缺陷檢測
可測晶片尺寸：4,6,8英寸及其它非標尺寸
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