推薦造一顆SiC芯片，需要哪些關鍵設備？

中國粉體網訊 碳化硅是當下最為火熱的賽道之一，據(jù)不完全統(tǒng)計，僅在2022年，國內新立項/簽約的碳化硅項目就超過20個，總投資規(guī)模超過476億元。其中，設備作為碳化硅產業(yè)鏈中的重要一環(huán)，正在飛速發(fā)展。事實上，國內在材料生長、切[更多]