中國粉體網(wǎng)訊 靜電吸盤在半導(dǎo)體制造工藝的多個(gè)環(huán)節(jié)扮演著重要作用,F(xiàn)代半導(dǎo)體工藝中包含晶圓的清洗、氧化、光刻、刻蝕、沉積等環(huán)節(jié),每個(gè)環(huán)節(jié)中又涉及到多種工序,這其中離子注入、物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)等工序均[更多]
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