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臥式化學氣相沉積爐（SiC、BN）品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
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采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍小；
全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；
可選配新設計的防腐蝕真空機組，持續(xù)工作時間長，維修率極低；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 參數(shù)\型號 | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作區(qū)尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術方案和協(xié)議為準。
結構形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動/自動
爐殼材質：內層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗材質：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號
真空泵：機械泵組/耐腐蝕泵組
暫無數(shù)據(jù)！
4月28日，由石墨邦主辦的2025年第六屆半導體用炭材料技術研討會在長沙召開。頂立科技董事長戴煜博士在會上作“半導體用關鍵涂層材料及熱工裝備技術與應用現(xiàn)狀”主題報告，介紹了公司在半導體關鍵涂層材料及熱
4月29日上午，2025年湖南省慶祝“五一”國際勞動節(jié)暨勞動模范和先進工作者表彰大會在長沙隆重舉行。頂立科技副總經(jīng)理胡祥龍博士被授予“湖南省勞動模范”榮譽稱號。胡祥龍博士作為碳/陶復合材料熱工裝備領域
4月17日，由DT新材料、頂立科技聯(lián)合主辦的“2025年第二屆碳陶制動材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇”在長沙開幕。來自碳陶制動產(chǎn)業(yè)鏈上下游的企業(yè)精英、高?？蒲性核鶎＜覍W者200余人參加了此次盛會。會議圍繞碳陶制動材
所謂復合材料是指由兩種或兩種以上的組分材料，運用一定的工藝技術制備組合而成的多相新材料體系，其綜合性能優(yōu)于各自組分材料。先進復合材料指用高性能增強體如碳纖維、芳綸等高性能耐熱高聚物構成的復合材料，包括
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