參考價(jià)格
面議型號(hào)
HCVD-101015-ZrC品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
暫無(wú)非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結(jié)氣氛:
其他溫控精度:
±5~±20最高溫度:
2000額定溫度:
2000看了超高溫硼化物沉積爐的用戶又看了
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采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制H2、C3H6的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)?。?/span>
全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
多通道工藝氣路,流場(chǎng)均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組,持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),維修率低;
適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。
參數(shù)\型號(hào) | HCVD-101015-ZrC | HCVD-152023-ZrC | VCVD-0608-ZrC | VCVD-0812-ZrC | VCVD-1120-ZrC | VCVD-1218-ZrC | VCVD-1520-ZrC |
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm) | 1000×1000×1500 | 1500×2000×2300 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
**溫度(℃) | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
溫度均勻性(℃) | ±10/±15 | ±15/±20 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開(kāi)門/雙開(kāi)門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC
熱電偶:C/S分度號(hào)
紅外儀:?jiǎn)伪壬?雙比色
真空泵:機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
暫無(wú)數(shù)據(jù)!
4月28日,由石墨邦主辦的2025年第六屆半導(dǎo)體用炭材料技術(shù)研討會(huì)在長(zhǎng)沙召開(kāi)。頂立科技董事長(zhǎng)戴煜博士在會(huì)上作“半導(dǎo)體用關(guān)鍵涂層材料及熱工裝備技術(shù)與應(yīng)用現(xiàn)狀”主題報(bào)告,介紹了公司在半導(dǎo)體關(guān)鍵涂層材料及熱
4月29日上午,2025年湖南省慶?!拔逡弧眹?guó)際勞動(dòng)節(jié)暨勞動(dòng)模范和先進(jìn)工作者表彰大會(huì)在長(zhǎng)沙隆重舉行。頂立科技副總經(jīng)理胡祥龍博士被授予“湖南省勞動(dòng)模范”榮譽(yù)稱號(hào)。胡祥龍博士作為碳/陶復(fù)合材料熱工裝備領(lǐng)域
4月17日,由DT新材料、頂立科技聯(lián)合主辦的“2025年第二屆碳陶制動(dòng)材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇”在長(zhǎng)沙開(kāi)幕。來(lái)自碳陶制動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈上下游的企業(yè)精英、高??蒲性核鶎<覍W(xué)者200余人參加了此次盛會(huì)。會(huì)議圍繞碳陶制動(dòng)材
所謂復(fù)合材料是指由兩種或兩種以上的組分材料,運(yùn)用一定的工藝技術(shù)制備組合而成的多相新材料體系,其綜合性能優(yōu)于各自組分材料。先進(jìn)復(fù)合材料指用高性能增強(qiáng)體如碳纖維、芳綸等高性能耐熱高聚物構(gòu)成的復(fù)合材料,包括