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液相法晶體生長(zhǎng)爐品牌
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簡(jiǎn)介 ： 1.結(jié)構(gòu)緊湊，可采用并排布局，提高廠房利用率。 2.可兼容電阻或感應(yīng)加熱熱場(chǎng)。 3.可配備多個(gè)加熱器獨(dú)立控制，工藝調(diào)試窗口大，便于同時(shí)控制軸向和徑向溫度梯度。 4.底部水冷坩堝軸帶有中空測(cè)溫孔，頂、底、側(cè)均可配紅外測(cè)溫，便于溫場(chǎng)監(jiān)控和工藝調(diào)試。 5.可選恒功率、恒電流、恒溫工作模式。 6.滿足6-8寸半絕緣/導(dǎo)電晶體生長(zhǎng)需求。
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